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더 게임 토토 사이트의 미세 패턴화 기술

1. 소개

휴대용 단말기가 일반적으로 사용되고 나서、전자기기의 고기능화와 소형화는 평행하고 가속적으로 진화해 왔습니다。자세히、향후는 웨러블 단말이나 IoT의 보급이 기대되고 있어、보다 더 고밀도화가 요구되는 것으로 보입니다。

이 고밀도화는 반도체를 비롯한 전자 부품의 소형화뿐만 아니라、더 게임 토토 사이트의 미세화로 인해 배선 밀도도 향상된 것도 요인으로 올라갑니다。전자 부품으로 사용되는 BGA 패키지의 단자 피치는、2000년경까지 1.0mm~0.65mm 정도였지만、최근에는 0.4mm~0.3mm 피치 패키지까지 사용할 수 있게 되었습니다。그러므로 이들을 구현하는 PCB에도 미세(미세 패턴)화 요구가 더욱 증가하고 있습니다。

2. 배선 미세화(미세 패턴) 요청

더 게임 토토 사이트의 도체 패턴은、동박 또는 구리 도금을 사용하여、포토리소그래피에 의해 레지스트막을 노광、현상 후、에칭하여 배선 패턴을 형성합니다。

배선 패턴의 미세화의 동향으로서 다층 더 게임 토토 사이트의 도체 치수 사양의 발췌를 표 1에 나타냅니다(출전:일본 전자 회로 공업회 2014년도판 프린트 배선판 로드맵)。

표 1. 다층 인쇄 회로 더 게임 토토 사이트의 도체 치수 사양 발췌

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출전:일본 전자 회로 공업회 2014년도판 더 게임 토토 사이트 배선판 로드맵

비교적 첨단 기술을 갖춘 클래스 B에서는 앞으로、최소 도체 폭과 최소 도체 간극이 35μm/35μm 정도가 필요해집니다。

3. 미세화 기술

3-1. 노광 정밀도 향상
일반적인 패턴 노출에서、위에서 설명한 대로、포토리소그래피 사용。단、사진 필름을 사용하여、빛의 산란이 발생、패턴 정확도가 떨어집니다。또、필름 신축으로 인한 회로 위치 정밀도도 감소합니다。우리의 미세 패턴 형성에서、필름을 사용하지 않는 직접 묘화 장치(Direct Imaging System)를 이용하여 노광하므로、패턴 정확도、재현성 향상(그림 1)。

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그림 1 필름 그리기와 직접 그리기의 정확도

3-2. 에칭 정밀도 향상
에칭 공법 중 하나인 서브트랙티브법에서는、에칭 매체의 두께(에치 팩터)가 크게 영향을 줍니다。이 매체에는、구리 두께와 건식 필름 레지스트 두께가 있음、두꺼우면 패턴 정확도가 떨어집니다。당사는、저렴하게 기초 구리 두께를 박막 처리할 수 있는 하프 에칭 기술을 가지고、기존의 기본 동박의 매트 표면 그대로、제조 가능(그림 2)。